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小微气体流量校准——LFR100 小微气体流量计量标准装置案例



小微气体流量的测量和流量控制是计量科学技术的组成部分之一,在工业生产、科学研究、环境保护、能源储运核算、国防结算等诸多方面发挥着不可或缺的作用。市场的需求量也在逐年增加。

小微气体流量测量已广泛应用于航空航天、半导体加工、医疗生物、电子汽车等行业。

小微气体流量测量对测量仪器的准确度和可靠性要求更高。气体流量仪表溯源检测,需要更高精度的气体流量装置作为参考标准。又因为气体流量计在实际使用过程中,需要每隔一段时间对流量计进行检定和校准。而且有些流量计一般安装在管道上,存在着拆卸不方便或者拆下送检的时间较长。那么检定和校准小微气体流量计就需要一台精度高,不确定度优越的校准装置。


北京易优凯科技有限公司与南通某计量所合作,采用层流流量元件和高精度压力传感器,研制出小微气体流量计量标准装置LFR100。



本装置具有温度、湿度、压力补偿功能。其扩展不确定度优于0.5%(k=2),流量从1ml/min到100l/min级。

LFR100小微气体流量计量标准适用于现场检定校准气体流量计,可对环境监测站流量标准,气体采样器,在线流量仪表等进行检定校准。


本装置已成功应用于南通市某计量检定测试所。





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